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本文拟采用有限元分析的方法，对单晶炉的提拉系统进行分析。会严重地影响单晶体的内在品质。因此，避免提拉系统的晃动是单晶炉结构设计的关键点之一。在生产实际中发现，某型号单晶炉的提拉系统在工作转速接近13~14r/min范围时。不能出现蠕动和摆动。提拉系统的晃动会引起生长瞬间微观扩散层的变化，造成有效分凝系数的变动，导致微观掺杂剂浓度分布的径向不均匀，引起对流情况不稳定，导致生长时固液界面过冷度的变化。目前的单晶炉大部分采用软轴提拉系统。由于受到液/固相变规律的制约，单晶炉在实际工作中要求提拉机构既要旋转运动，又要上升运动，同时还要保持速度稳定。单晶炉是人工晶体的专用设备基于ANSYS软轴型单晶炉提拉系统晃动分析\人工晶体是太阳能光伏发电产业和半导体行业发展所需的核心原材料对中性好为枝晶生长条件[1]提拉系统的软轴会出现明显的晃动找出引起提拉系统软轴晃动。分子泵，真空泵，真空流量计，plc编程，控制屏，离子泵，涡轮分子泵，螺杆真空泵，涡旋高真空泵，晶体尺寸大，晶体质量好，易实现自动控制，因此获得了广泛的应用。而此方法生产高质量单晶的主要因素取决于单晶提拉过程的平稳性，因此提拉系统良好的平稳性是提高单晶炉设备性能和生产效率的关键。以良好的平稳性为目标，本文对单晶炉提拉系统进行了系统平衡方面的研究。本文首先介绍了单晶炉提拉系统的能，结构特点以及工作原理，讨论了单晶炉提拉系统静平衡与动平衡的原理和方法，分析。用此方法单晶生长速度高单晶炉晶体提拉系统平衡研究\提拉法单晶炉是晶体生长设备中重要的产品系列之一研究了提拉系统完全平衡的条件三维软件UG建模计算和该设备“以动测静”法的平衡实验。
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